[發明專利]一種磁控等離子體裝置無效
| 申請號： | 200410025115.2 | 申請日： | 2004-06-11 |
| 公開（公告）號： | CN1585588A | 公開（公告）日： | 2005-02-23 |
| 發明（設計）人： | 孫卓;孫懿 | 申請（專利權）人： | 上海納晶科技有限公司;華東師范大學 |
| 主分類號： | H05H1/12 | 分類號： | H05H1/12;H05H1/10 |
| 代理公司： | 上海德昭專利事務所 | 代理人： | 程宗德;石昭 |
| 地址： | 201109*** | 國省代碼： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 等離子體 裝置 | ||
【說明書】：
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