[發(fā)明專利]用兩個正交聲光調(diào)制器的成像干涉光刻方法及光刻系統(tǒng)無效
| 申請?zhí)枺?/td> | 200410009404.3 | 申請日： | 2004-08-05 |
| 公開（公告）號： | CN1731283A | 公開（公告）日： | 2006-02-08 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 馮伯儒;張錦;宗德蓉 | 申請（專利權(quán)）人： | 中國科學(xué)院光電技術(shù)研究所 |
| 主分類號： | G03F7/20 | 分類號： | G03F7/20;G02B27/00 |
| 代理公司： | 北京科迪生專利代理有限責(zé)任公司 | 代理人： | 劉秀娟;成金玉 |
| 地址： | 610209*** | 國省代碼： | 四川;51 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 兩個 正交 聲光 調(diào)制器 成像 干涉 光刻 方法 系統(tǒng) | ||
【權(quán)利要求書】：
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G03 攝影術(shù)；電影術(shù)；利用了光波以外其他波的類似技術(shù)；電記錄術(shù)；全息攝影術(shù)
G03F 圖紋面的照相制版工藝，例如，印刷工藝、半導(dǎo)體器件的加工工藝；其所用材料；其所用原版；其所用專用設(shè)備
G03F7-00 圖紋面，例如，印刷表面的照相制版如光刻工藝；圖紋面照相制版用的材料，如：含光致抗蝕劑的材料；圖紋面照相制版的專用設(shè)備
G03F7-004 .感光材料
G03F7-12 .網(wǎng)屏印刷模或類似印刷模的制作，例如，鏤花模版的制作
G03F7-14 .珂羅版印刷模的制作
G03F7-16 .涂層處理及其設(shè)備
G03F7-20 .曝光及其設(shè)備
G03F 圖紋面的照相制版工藝，例如，印刷工藝、半導(dǎo)體器件的加工工藝；其所用材料；其所用原版；其所用專用設(shè)備
G03F7-00 圖紋面，例如，印刷表面的照相制版如光刻工藝；圖紋面照相制版用的材料，如：含光致抗蝕劑的材料；圖紋面照相制版的專用設(shè)備
G03F7-004 .感光材料
G03F7-12 .網(wǎng)屏印刷模或類似印刷模的制作，例如，鏤花模版的制作
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G03F7-16 .涂層處理及其設(shè)備
G03F7-20 .曝光及其設(shè)備
