[發明專利]溶液涂敷裝置和涂敷方法有效
| 申請號: | 200410007816.3 | 申請日: | 2004-01-29 |
| 公開(公告)號: | CN1536414A | 公開(公告)日: | 2004-10-13 |
| 發明(設計)人: | 松嶋大輔;豐島范夫;梶原慎二 | 申請(專利權)人: | 芝浦機械電子株式會社 |
| 主分類號: | G02F1/1337 | 分類號: | G02F1/1337 |
| 代理公司: | 永新專利商標代理有限公司 | 代理人: | 胡建新 |
| 地址: | 日本神*** | 國省代碼: | 日本;JP |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 溶液 裝置 方法 | ||
【說明書】:
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