[發明專利]使激光束擴展而不擴展空間相干性的系統和方法有效
| 申請號： | 03152381.1 | 申請日： | 2003-07-31 |
| 公開（公告）號： | CN1487364A | 公開（公告）日： | 2004-04-07 |
| 發明（設計）人： | 亞歷山大·克拉莫;斯坦利·W·卓茲克維茲 | 申請（專利權）人： | ASML控股股份有限公司 |
| 主分類號： | G03F7/20 | 分類號： | G03F7/20;G02B27/10;H01S5/00;H01L21/027 |
| 代理公司： | 中國國際貿易促進委員會專利商標事務所 | 代理人： | 蔣世迅 |
| 地址： | 荷蘭費*** | 國省代碼： | 荷蘭;NL |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 激光束 擴展 空間相干性 系統 方法 | ||
【說明書】：
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