[發(fā)明專利]曝光裝置及載物臺裝置、以及器件制造方法無效

申請?zhí)枺?/td>	03141315.3	申請日：	2003-06-10
公開（公告）號：	CN1470945A	公開（公告）日：	2004-01-28
發(fā)明（設(shè)計）人：	西健爾;奧村正彥;奧野浩生	申請（專利權(quán)）人：	株式會社尼康
主分類號：	G03F7/22	分類號：	G03F7/22;H01L21/027
代理公司：	中原信達知識產(chǎn)權(quán)代理有限責(zé)任公司	代理人：	谷慧敏;關(guān)兆輝
地址：	日本***	國省代碼：	日本;JP
權(quán)利要求書：	查看更多	說明書：	查看更多
摘要：
搜索關(guān)鍵詞：	曝光裝置載物臺以及器件制造方法
鉆瓜網(wǎng) 技術(shù)展會專利詞庫專利權(quán)人專利榜在售專利公布日期熱門專利

【說明書】：

下載完整專利技術(shù)內(nèi)容需要扣除積分，VIP會員可以免費下載。

免登錄下載普通用戶下載升級VIP會員，免費下載

該專利技術(shù)資料僅供研究查看技術(shù)是否侵權(quán)等信息，商用須獲得專利權(quán)人授權(quán)。該專利全部權(quán)利屬于株式會社尼康，未經(jīng)株式會社尼康許可，擅自商用是侵權(quán)行為。如果您想購買此專利、獲得商業(yè)授權(quán)和技術(shù)合作，請聯(lián)系【客服】

本文鏈接：http://www.szxzyx.cn/pat/books/03141315.3/2.html，轉(zhuǎn)載請聲明來源鉆瓜專利網(wǎng)。