[發(fā)明專利]具抗反射涂層的內(nèi)連線制造方法及其結(jié)構(gòu)有效
| 申請?zhí)枺?/td> | 03133239.0 | 申請日： | 2003-07-18 |
| 公開（公告）號： | CN1481020A | 公開（公告）日： | 2004-03-10 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 鐘維民 | 申請（專利權(quán)）人： | 旺宏電子股份有限公司 |
| 主分類號： | H01L23/52 | 分類號： | H01L23/52;H01L21/768 |
| 代理公司： | 隆天國際知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 | 代理人： | 鄭特強 |
| 地址： | 中國*** | 國省代碼： | 中國臺灣;71 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 反射 涂層 連線 制造 方法 及其 結(jié)構(gòu) | ||
【權(quán)利要求書】：
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