[發明專利]半導體裝置及其制造方法無效
| 申請號: | 03103349.0 | 申請日: | 2003-01-24 |
| 公開(公告)號: | CN1441490A | 公開(公告)日: | 2003-09-10 |
| 發明(設計)人: | 青野勉;岡田喜久雄 | 申請(專利權)人: | 三洋電機株式會社 |
| 主分類號: | H01L23/48 | 分類號: | H01L23/48;H01L21/60;H01L21/768;H01L29/80 |
| 代理公司: | 中國國際貿易促進委員會專利商標事務所 | 代理人: | 羅亞川 |
| 地址: | 暫無信息 | 國省代碼: | 暫無信息 |
| 權利要求書: | 查看更多 | 說明書: | 查看更多 |
| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 半導體 裝置 及其 制造 方法 | ||
【說明書】:
下載完整專利技術內容需要扣除積分,VIP會員可以免費下載。
該專利技術資料僅供研究查看技術是否侵權等信息,商用須獲得專利權人授權。該專利全部權利屬于三洋電機株式會社,未經三洋電機株式會社許可,擅自商用是侵權行為。如果您想購買此專利、獲得商業授權和技術合作,請聯系【客服】
本文鏈接:http://www.szxzyx.cn/pat/books/03103349.0/2.html,轉載請聲明來源鉆瓜專利網。
- 上一篇:凝膠組合物
- 下一篇:潔凈與干燥半導體晶圓的方法與裝置





