[發(fā)明專(zhuān)利]感光樹(shù)脂組合物有效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 02803209.8 | 申請(qǐng)日: | 2002-09-24 |
| 公開(kāi)(公告)號(hào): | CN1554037A | 公開(kāi)(公告)日: | 2004-12-08 |
| 發(fā)明(設(shè)計(jì))人: | 高橋修一;河戶(hù)俊二 | 申請(qǐng)(專(zhuān)利權(quán))人: | 克拉瑞特國(guó)際有限公司 |
| 主分類(lèi)號(hào): | G03F7/022 | 分類(lèi)號(hào): | G03F7/022;G03F7/033;C08L33/00;H01L21/027 |
| 代理公司: | 北京三幸商標(biāo)專(zhuān)利事務(wù)所 | 代理人: | 劉激揚(yáng) |
| 地址: | 瑞士*** | 國(guó)省代碼: | 瑞士;CH |
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| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 感光 樹(shù)脂 組合 | ||
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G03F7-00 圖紋面,例如,印刷表面的照相制版如光刻工藝;圖紋面照相制版用的材料,如:含光致抗蝕劑的材料;圖紋面照相制版的專(zhuān)用設(shè)備
G03F7-004 .感光材料
G03F7-12 .網(wǎng)屏印刷模或類(lèi)似印刷模的制作,例如,鏤花模版的制作
G03F7-14 .珂羅版印刷模的制作
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G03F7-20 .曝光及其設(shè)備
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