[發明專利]微量移動裝置及其制造方法有效
| 申請號： | 02802157.6 | 申請日： | 2002-06-26 |
| 公開（公告）號： | CN1463436A | 公開（公告）日： | 2003-12-24 |
| 發明（設計）人： | 中谷將也;森仲克也;三木勝政;多鹿博文 | 申請（專利權）人： | 松下電器產業株式會社 |
| 主分類號： | G11B21/10 | 分類號： | G11B21/10;G11B21/21;G11B5/596;H01L41/09;H01L41/22 |
| 代理公司： | 中科專利商標代理有限責任公司 | 代理人： | 汪惠民 |
| 地址： | 暫無信息 | 國省代碼： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 微量 移動 裝置 及其 制造 方法 | ||
【說明書】：
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