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[發明專利]半導體裝置及其制造方法無效

專利信息
申請號: 02160408.8 申請日: 2002-12-31
公開(公告)號: CN1433252A 公開(公告)日: 2003-07-30
發明(設計)人: 西本賢二;片桐光昭 申請(專利權)人: 株式會社日立制作所
主分類號: H05K1/00 分類號: H05K1/00;H05K1/02;H01L21/60;H01L23/52
代理公司: 中國國際貿易促進委員會專利商標事務所 代理人: 付建軍
地址: 暫無信息 國省代碼: 暫無信息
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摘要:
搜索關鍵詞: 半導體 裝置 及其 制造 方法
【說明書】:
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說明:

1、專利原文基于中國國家知識產權局專利說明書;

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