[發明專利]半導體裝置及其制造方法無效
| 申請號： | 02154791.2 | 申請日： | 2002-12-04 |
| 公開（公告）號： | CN1424767A | 公開（公告）日： | 2003-06-18 |
| 發明（設計）人： | 中島博臣 | 申請（專利權）人： | 株式會社東芝 |
| 主分類號： | H01L29/78 | 分類號： | H01L29/78;H01L21/336 |
| 代理公司： | 中國國際貿易促進委員會專利商標事務所 | 代理人： | 付建軍 |
| 地址： | 暫無信息 | 國省代碼： | 暫無信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 半導體 裝置 及其 制造 方法 | ||
【權利要求書】：
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