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[發(fā)明專利]硅基薄膜晶體管室溫紅外探測器無效

專利信息
申請?zhí)枺?/td> 02148647.6 申請日: 2002-11-15
公開(公告)號: CN1405892A 公開(公告)日: 2003-03-26
發(fā)明(設計)人: 劉理天;董良;岳瑞峰 申請(專利權)人: 清華大學
主分類號: H01L27/14 分類號: H01L27/14;H01L31/00;G01J1/02
代理公司: 暫無信息 代理人: 暫無信息
地址: 100084 *** 國省代碼: 北京;11
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摘要:
搜索關鍵詞: 薄膜晶體管 室溫 紅外探測器
【說明書】:
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