[發(fā)明專(zhuān)利]半導(dǎo)體裝置及其制造方法無(wú)效
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 02141229.4 | 申請(qǐng)日: | 2002-06-28 |
| 公開(kāi)(公告)號(hào): | CN1428853A | 公開(kāi)(公告)日: | 2003-07-09 |
| 發(fā)明(設(shè)計(jì))人: | 深谷忠男;增田裕;本浪康司 | 申請(qǐng)(專(zhuān)利權(quán))人: | 株式會(huì)社東芝 |
| 主分類(lèi)號(hào): | H01L23/48 | 分類(lèi)號(hào): | H01L23/48;H01L23/495;H01L23/12;H01L23/28;H01L21/60 |
| 代理公司: | 上海專(zhuān)利商標(biāo)事務(wù)所 | 代理人: | 孫敬國(guó) |
| 地址: | 暫無(wú)信息 | 國(guó)省代碼: | 暫無(wú)信息 |
| 權(quán)利要求書(shū): | 查看更多 | 說(shuō)明書(shū): | 查看更多 |
| 摘要: | |||
| 搜索關(guān)鍵詞: | 半導(dǎo)體 裝置 及其 制造 方法 | ||
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