[發明專利]被研磨物保持部件及其制造方法

無效

• 申請號: 02106513.6
• 申請日: 2002-02-26
• 公開（公告）號: CN1373025A
• 公開（公告）日: 2002-10-09
• 發明（設計）人: 高橋克治;平岡宏一;野田雅之
• 申請（專利權）人: 新神戶電機株式會社
• 主分類號: B24B37/04
• 分類號: B24B37/04;H01L21/304
• 代理公司: 中科專利商標代理有限責任公司
• 代理人: 汪惠民

1、一種被研磨物保持部件，由將含浸熱固性樹脂的一塊片狀纖維基材或將多塊所述片狀纖維基材重合而成的層壓片熱壓成形為板狀并且具有表面層的熱固性樹脂含浸纖維板構成，其特征在于，所述表面層在大致整個范圍具有下述表面粗度，從用表面粗度測定器測定獲得的剖面曲線中挑選起伏曲線，在沿其平均線方向僅抽取規定長度的評價部分中，將距離所述平均線的最大波峰的高度尺寸Rp與最大波谷的深度尺寸Rv求和得到的最大高度Ry為10μm以上。

2、如權利要求1所述的被研磨物保持部件，其特征在于，所述最大高度Ry在10μm以上30μm以下。

3、如權利要求2所述的被研磨物保持部件，其特征在于，包含在所述起伏曲線的所述評價部分中的多個波峰的相鄰2個峰值間的平均間隔為15～17mm。

4、如權利要求1所述的被研磨物保持部件，其特征在于，所述表面粗度測定器的掃描長度為100mm，掃描速度為1mm/秒，施加在檢測針上的負荷為15mg，從所述剖面曲線挑選所述起伏曲線時的截止值為25mm。

5、如權利要求1所述的被研磨物保持部件，其特征在于，所述熱固性樹脂含浸纖維板由內層和一對外層構成，內層由織物構成的1塊以上所述片狀纖維基材構成，一對外層由分別設置在所述內層兩側的無紡布構成的1塊以上所述片狀纖維基材構成，所述熱固性樹脂為環氧系熱固性樹脂。

6、一種被研磨物保持部件的制造方法，是制造由具有表面層的熱固性樹脂含浸纖維板構成的被研磨物保持部件的方法，其特征在于，由下述工序構成：準備含浸熱固性樹脂的一塊片狀纖維基材或將多塊所述片狀纖維基材重合而成的層壓片的工序，在所述一塊片狀纖維基材或所述層壓片的兩面上設置一對剝離膜的工序，在所述一對剝離膜的兩側設置一對鏡面板的工序，和從所述一對鏡面板的兩側對所述片狀纖維基材或所述層壓片加熱同時加壓的工序；作為至少位于所述表面層側的所述鏡面板，使用在所述表面層的整個范圍具有下述表面粗度的物質，即從由表面粗度測定器測定獲得的剖面曲線挑選起伏曲線，在沿其平均線方向僅抽取規定長度的評價部分中，計算距離所述平均線的最大波峰的高度尺寸Rp與最大波谷的深度尺寸Rv之和得到的最大高度Ry為10μm以上。

7、如權利要求6所述的被研磨物保持部件的制造方法，其特征在于，確定位于所述表面層側的所述鏡面板的硬度和/或厚度，使所述最大高度Ry在10μm以上30μm以下。

8、如權利要求7所述的被研磨物保持部件的制造方法，其特征在于，確定位于所述表面層側的所述鏡面板的硬度和厚度，使包含在所述起伏曲線的所述評價部分中的多個波峰的相鄰的2個峰值間的平均間隔為15～17mm。

9、如權利要求6所述的被研磨物保持部件的制造方法，其特征在于，所述鏡面板由鋁形成。

10、如權利要求9所述的被研磨物保持部件的制造方法，其特征在于，在所述一對鏡面板的兩側分別設有墊材，所述鏡面板為厚度在0.2mm以上0.8mm以下，布氏硬度在40(HBS10/500)以上100(HBS10/500)以下的鋁制鏡面板。

11、如權利要求6所述的被研磨物保持部件的制造方法，其特征在于，在位于所述表面層側的所述鏡面板的表面上形成起伏，使所述最大高度Ry在10μm以上30μm以下。

12、如權利要求11所述的被研磨物保持部件的制造方法，其特征在于，在位于所述表面層側的所述鏡面板的表面上形成所述起伏，使包含在所述起伏曲線的所述評價部分中的多個波峰的相鄰的2個峰值間的平均間隔為15～17mm。