[發明專利]成象特性測量法、成象特性調節法、曝光法及設備、程序和存儲介質以及器件制造方法有效
| 申請號： | 01821648.X | 申請日： | 2001-12-27 |
| 公開（公告）號： | CN1484757A | 公開（公告）日： | 2004-03-24 |
| 發明（設計）人： | 塚越敏雄 | 申請（專利權）人： | 株式會社尼康 |
| 主分類號： | G01M11/00 | 分類號： | G01M11/00;G03F7/20;H01L21/027;G02B7/00 |
| 代理公司： | 中原信達知識產權代理有限責任公司 | 代理人： | 武玉琴;顧紅霞 |
| 地址： | 日本*** | 國省代碼： | 日本;JP |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 成象 特性 測量 調節 曝光 設備 程序 存儲 介質 以及 器件 制造 方法 | ||
【權利要求書】：
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