[發明專利]細微構造體的精密加工方法無效
| 申請號： | 01805961.9 | 申請日： | 2001-03-16 |
| 公開（公告）號： | CN1407947A | 公開（公告）日： | 2003-04-02 |
| 發明（設計）人： | 山下一郎 | 申請（專利權）人： | 松下電器產業株式會社 |
| 主分類號： | B82B3/00 | 分類號： | B82B3/00;H01L21/30 |
| 代理公司： | 中科專利商標代理有限責任公司 | 代理人： | 汪惠民 |
| 地址： | 日本*** | 國省代碼： | 暫無信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 細微 構造 精密 加工 方法 | ||
【說明書】：
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