[實(shí)用新型]負(fù)電子親和勢光電陰極原位評(píng)估裝置

無效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 01237450.4
• 申請(qǐng)日: 2001-04-20
• 公開（公告）號(hào): CN2497308Y
• 公開（公告）日: 2002-06-26
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 常本康;汪貴華;富容國;錢蕓生;楊偉毅
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 南京理工大學(xué)
• 主分類號(hào): G01N23/00
• 分類號(hào): G01N23/00;G01N23/22;G01N23/227
• 代理公司: 南京理工大學(xué)專利事務(wù)所
• 代理人: 朱顯國

1、一種負(fù)電子親和勢光電陰極原位評(píng)估裝置，包括表面分析系統(tǒng)，表面分析系統(tǒng)包括主真空室[7]、預(yù)抽室[11]、紫外光源[10]、送樣桿[12]、離子升華泵[13]、機(jī)械泵[17]、渦輪分子泵[18]，紫外光源[10]與主真空室[7]連接，中間設(shè)置閥門[8]，預(yù)抽室和主真空室之間的管路上設(shè)置閥門[9]，送樣桿[12]與預(yù)抽室連接，渦輪分子泵[18]連接到主真空室和預(yù)抽室之間，管路上設(shè)置閥門[14]、[15]，機(jī)械泵[17]連接到渦輪分子泵上，其特征在于：表面分析系統(tǒng)及角閥[20]通過連接管[4]及波紋管[19]及角閥[20]與激活系統(tǒng)相連，激活系統(tǒng)包括激活真空室[2]，連接管[4]兩端分別與法蘭[28]及主真空室連接，中間設(shè)置撥叉[5]和閘板閥[6]，波紋管[19]與渦輪分子泵[18]連接處抽氣管道上設(shè)置三通閥[16]，激活真空室上連接離子升華泵[21]，抽氣管道[31]上設(shè)置閘板閥[22]，光譜響應(yīng)測試儀[3]通過光纖[35]和玻璃棒[36]與激活真空室連接，磁力傳輸桿[1]與激活真空室的法蘭盲口[23]連接。

2、根據(jù)權(quán)利要求1所描述的負(fù)電子親和勢光電陰極原位評(píng)估裝置，其特征在于：激活真空室的上透光玻璃[26]和下透光玻璃[30]內(nèi)凹，并與光纖[35]和玻璃棒[36]連接。

3、根據(jù)權(quán)利要求1或2所描述的負(fù)電子親和勢光電陰極原位評(píng)估裝置，其特征在于：激活真空室為一水平方向的圓柱腔體，通過圓管[31]與閘板閥[22]與升華泵和離子泵[21]相連接，真空室的左半部分用于樣品的加熱處理，右半部分用于樣品的激活和光譜響應(yīng)測試，帶引線的撥叉[29]用來測光電流和光譜響應(yīng)的單色光電流。