[實用新型]預防靜電破壞的裝置

無效

• 申請號: 01200866.4
• 申請日: 2001-02-15
• 公開（公告）號: CN2489471Y
• 公開（公告）日: 2002-05-01
• 發明（設計）人: 謝來福;謝宜璋;黃清榮;廖沐盛
• 申請（專利權）人: 矽統科技股份有限公司
• 主分類號: H01L23/60
• 分類號: H01L23/60
• 代理公司: 永新專利商標代理有限公司
• 代理人: 韓宏

本實用新型是關于一種預防靜電破壞的裝置，特別是關于一種涂布靜電防止劑于集成電路的表面以預防靜電破壞的自動化裝置。

一般而言，集成電路對靜電的反應非常敏感，稍有靜電的累積便可能影響集成電路運算的正確性，甚至造成集成電路的永久損壞、因此預防靜電的累積，對于集成電路的制造流程而言是一個很重要的課題。

圖1是一已知的預防靜電破壞的方法。該方法是將多個已制成的集成電路13放置于一托盤11之內，而在該托盤11的兩端綁上兩條靜電帶12。該靜電帶12事先被浸泡于一靜電防止劑中，其目的在保護托盤11內的多個集成電路，以避免靜電的累積。

圖1的方法對于存放于該托盤11的不同位置的集成電路13均有不相等的靜電防止效力。通常距離該靜電帶12較近的集成電路有較大的靜電防止能力，而距離該靜電帶12較遠的集成電路有較小的靜電防止能力。另外，該靜電帶12對于該集成電路的保護屬于靜態的保護，也就是說較適合預防一外在環境，例如因干燥的空氣，而造成的靜電累積。但對于一些較動態的情形，例如該集成電路13在封裝測試和表面粘著的階段時，通常會和各種自動化機器手臂接觸磨擦而在瞬間產生很大的靜電，而這些因動態接觸磨擦而造成靜電的累積是已知方式所無法保護的。

由以上的敘述可知，現行應用于集成電路的靜電保護方式并不能符合市場的需要。

本實用新型的目的是為克服目前使用于集成電路的靜電保護效力不均且無法克服動態磨擦所產生的靜電破壞的缺點。為了達到上述目的，本實用新型提供一種預防靜電破壞的裝置，該裝置在該集成電路的封裝測試過程中直接將該靜電防止劑涂布于該集成電路的表面，并通過該靜電防止劑而阻絕因動態的接觸磨擦而造成的靜電累積。

本實用新型的預防靜電破壞的裝置，包含一皮帶、至少一個滾動馬達、至少一個噴嘴、至少一個定量吐出器及至少一個光電開關。該皮帶的上方用于放置該多個集成電路。該滾動馬達用于卷動該皮帶，并因此而使該多個集成電路不斷前進。該噴嘴用于涂布該靜電防止劑于該多個集成電路的表面。該定量吐出器用于控制該噴嘴輸出該靜電防止劑的噴出量。該光電開關連接至該噴嘴和該定量吐出器，用于感應該多個集成電路是否即將經過該噴嘴的下方。

本實用新型將依照后附的附圖來說明，其中：

圖1是已知的預防靜電破壞的裝置；及

圖2是本實用新型的預防靜電破壞的裝置的示意圖。

已知裝置將多個集成電路13以兩條事先被浸泡于靜電防止劑的靜電帶12保護，而該已知裝置并不能預防在測試過程中因機臺和該集成電路13因接觸磨擦而產生的靜電破壞。為了克服該機臺和該集成電路13因接觸磨擦而產生的靜電破壞，最直接的方式就是將該靜電防止劑涂布于該集成電路13的表面。由于該靜電防止劑的保護作用，在測試的過程中該機臺和該集成電路13因磨擦而產生的靜電便不容易累積于該集成電路13的表面、而達到保護該集成電路13免于遭受靜電破壞的功效。

表1為已知裝置及本實用新型裝置的克服靜電累積能力的比較結果，且其測試環境是在攝氏22度及濕度55％的環境下。本實用新型的發明人針對未涂有靜電防止劑的集成電路及涂有靜電防止劑的集成電路各以絨布磨擦約五秒鐘，然后立即量測該集成電路的殘留靜電，并依此而得到表1的九十六次實驗結果：