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[發明專利]單片集成電容式硅基微傳聲器及其制作工藝無效

專利信息
申請號: 01140441.8 申請日: 2001-12-07
公開(公告)號: CN1159950C 公開(公告)日: 2004-07-28
發明(設計)人: 劉理天;陳兢;李志堅;譚智敏 申請(專利權)人: 清華大學
主分類號: H04R9/08 分類號: H04R9/08;H04R31/00
代理公司: 暫無信息 代理人: 暫無信息
地址: 100084北*** 國省代碼: 北京;11
權利要求書: 查看更多 說明書: 查看更多
摘要:
搜索關鍵詞: 單片 集成 電容 式硅基微 傳聲器 及其 制作 工藝
【說明書】:
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1、專利原文基于中國國家知識產權局專利說明書;

2、支持發明專利 、實用新型專利、外觀設計專利(升級中);

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4、內容包括專利技術的結構示意圖流程工藝圖技術構造圖

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