[發(fā)明專利]陣列式光探針掃描集成電路光刻系統(tǒng)中的對準方法無效
| 申請?zhí)枺?/td> | 01123501.2 | 申請日： | 2001-07-26 |
| 公開（公告）號： | CN1139845C | 公開（公告）日： | 2004-02-25 |
| 發(fā)明（設計）人： | 徐端頤;齊國生;錢坤;李慶祥;范曉冬;蔣培軍 | 申請（專利權）人： | 清華大學 |
| 主分類號： | G03F7/00 | 分類號： | G03F7/00;H01L21/027;B81C5/00 |
| 代理公司： | 北京清亦華專利事務所 | 代理人： | 羅文群 |
| 地址： | 1000*** | 國省代碼： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 陣列 探針 掃描 集成電路 光刻 系統(tǒng) 中的 對準 方法 | ||
【說明書】：
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