[發明專利]決定分離閘存儲胞元特性的方法

無效

• 申請號: 01119743.9
• 申請日: 2001-05-24
• 公開（公告）號: CN1388576A
• 公開（公告）日: 2003-01-01
• 發明（設計）人: 高啟弘
• 申請（專利權）人: 華邦電子股份有限公司
• 主分類號: H01L21/8247
• 分類號: H01L21/8247;H01L21/66;G11C16/00;G11C29/00
• 代理公司: 上海專利商標事務所
• 代理人: 任永武

1.一種用于決定一分離閘存儲胞元特性的方法，包括下列步驟：

將一漂浮閘完全充電；

于漂浮閘完全充電時量測所述存儲胞元的一參數；以及

根據所述量測值決定所述存儲胞元的特性。

2.如權利要求1所述的方法，其特征在于，所述將漂浮閘完全充電包含有移除所述漂浮閘上所有電荷，并且然后增加電荷于所述漂浮閘上至所述漂浮閘完全充電為止。

3.如權利要求1所述的方法，其特征在于，所述參數的量測包含有量測相對于一源極閘電壓的一控制閘電壓。

4.如權利要求1所述的方法，其特征在于，所述特性的決定包含有決定一電容特性。

5.一存儲胞元，其特征在于，它是使用如權利要求1的所決定的特性進行設計的。

6.一存儲胞元數組，其特征在于，所述數組的每一胞元是使用如權利要求1所決定的特性而設計的。

7.一種用于決定一分離閘存儲胞元特性的方法，包括下列步驟：

將所述存儲胞元初始化；

將所述存儲胞元置于一反操作模式；

掃視所述存儲胞元的一控制閘電壓；

量測所述胞元的一源極電壓；以及

決定所述存儲胞元的特性。

8.如權利要求7所述的方法，其特征在于，所述初始化包含有量測所述胞元的相對于一控制閘電壓的一漏極電流，以及量測所述胞元相對于一控制閘電壓的一源極電流并決定所述存儲胞元是否處于一次臨界區域中，且如果所述存儲胞元是處于一次臨界區域中時，將一漏極電流與一源極電流相比較。

9.如權利要求7所述的方法，其特征在于，所述方法還包括：

確認所述特性的決定已否有效執行。

10.如權利要求9所述的方法，其特征在于，所述確認包含有決定一臨界電壓改變。

11.一存儲胞元，其特征在于，它使用如權利要求7的所決定的特性進行設計。

12.一存儲胞元數組，其特征在于，所述數組的每一胞元是使用如權利要求7所決定的特性而設計的。

13.一種用于決定一分離閘存儲胞元的兩特性的方法，包括下列步驟：

定義一含有三未知變量的第一函數，而所述兩特性為其中的兩未知變量；

定義一第二函數而其中僅兩特性為未知變量；

量測一第一組件參數相對于一第二組件參數以決定所述第一函數的其余未知變量；以及

使用量測值而解所述第一函數與所述第二函數以決定所述兩特性。

14.如權利要求13所述的方法，其特征在于，所述第一函數為；其中S為其余未知變量，耦合比例α_G為所述兩特性的其一特性，耦合比例α_S為所述兩特性的另一特性，耦合比例α_G為于總漂浮閘電容中漂浮閘電容對源極電極電容的比例，耦合比例α_S為于總漂浮閘電容中控制閘電極對漂浮閘電極電容的比例。

15.如權利要求14所述的方法，其特征在于，所述第二函數為α_G+α_S＝1。

16.如權利要求15所述的方法，其特征在于，所述第一組件參數為一變化源極電壓且所述第二組件參數為一變化控制閘電壓，且其余未知變量S為變化源極電壓與變化控制閘電壓的比例。

17.一存儲胞元，其特征在于，它使用如權利要求13所決定的特性進行設計。

18.一存儲胞元數組，其特征在于，所述數組的每一胞元是使用如權利要求13所決定的特性而設計的。

19.一種用于決定一分離閘存儲胞元耦合比例的方法，其特征在于，包括下列步驟：

將所述存儲胞元初始化；

將所述存儲胞元置于一反操作模式；

掃視所述存儲胞元的一控制閘電壓；

量測所述胞元的一源極電壓；以及

決定所述存儲胞元的耦合比例，其中所述耦合比例為于包含一差異胞元組件阻抗值的總組合胞元阻抗值中的差異胞元阻抗值的比例。

20.如權利要求19所述的方法，其特征在于，所述第一耦合比例為于總漂浮閘電容中的控制閘電極對漂浮閘電容的比例，而所述第二耦合比例為于總漂浮閘電容中的控制閘電極對漂浮閘電容的比例。