[發(fā)明專利]制作微型刀具與立體微結(jié)構(gòu)的方法無效
| 申請?zhí)枺?/td> | 01104228.1 | 申請日： | 2001-02-26 |
| 公開（公告）號： | CN1371783A | 公開（公告）日： | 2002-10-02 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 林育生;陳世洲;謝重光 | 申請（專利權(quán)）人： | 興隆發(fā)電子股份有限公司 |
| 主分類號： | B23P15/28 | 分類號： | B23P15/28;B23P13/02;C25D3/00 |
| 代理公司： | 北京三友知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 | 代理人： | 蔣旭榮 |
| 地址： | 臺灣省*** | 國省代碼： | 臺灣;71 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 制作 微型 刀具 立體 微結(jié)構(gòu) 方法 | ||
1.一種制作立體微結(jié)構(gòu)的方法，其特征在于，包括下列步驟：
a.以微影方法制作一用以成形立體微結(jié)構(gòu)的成型刀具的光刻模；
b.以電鑄方法于該光刻模中成形一微型刀具；
c.將該微型刀具安裝在一加工機床上，并利用該微型刀具對一被加工物進行切削，于該被加工物表面成形一與該微型刀具具有相對應(yīng)形狀的立體微結(jié)構(gòu)。
2.如權(quán)利要求1所述的制作立體微結(jié)構(gòu)的方法，其特征在于：該微型刀具以線性切削方式在該被加工物上進行切削。
3.如權(quán)利要求1所述的制作立體微結(jié)構(gòu)的方法，其特征在于：該微型刀具以旋轉(zhuǎn)方式在該被加工物上進行切削。
4.如權(quán)利要求1所述的制作立體微結(jié)構(gòu)的方法，其特征在于：該微型刀具的材料是選擇高硬度材料。
5.如權(quán)利要求4所述的制作立體微結(jié)構(gòu)的方法，其特征在于：高硬度材料為鎳或鎳鐵合金或鎳鈷合金或鎳鎢合金或鎳與碳化矽合成材料。
6.一種用以制作立體微結(jié)構(gòu)的微型刀具的方法，微型刀具具有與前述立體微結(jié)構(gòu)相對應(yīng)的切削刃口形狀，其特征在于：該微型刀具通過在一平面基板上以微影方式制作一與該微型刀具具有相同形狀的光刻模，然后以電鑄方式于該光刻模中成形該微型刀具。
7.如權(quán)利要求6所述的用以制作立體微結(jié)構(gòu)的微型刀具的方法，其特征在于：該微型刀具的材料是選擇高硬度材料。
8.如權(quán)利要求7所述的用以制作立體微結(jié)構(gòu)的微型刀具的方法，其特征在于：高硬度材料為鎳或鎳鐵合金或鎳鈷合金或鎳鎢合金或鎳與碳化矽合成材料。
9.如權(quán)利要求6所述的用以制作立體微結(jié)構(gòu)的微型刀具的方法，其特征在于：該微型刀具以線性切削方式于該被加工物上進行切削。
10.如權(quán)利要求6所述的用以制作立體微結(jié)構(gòu)的微型刀具的方法，其特征在于：該微型刀具以旋轉(zhuǎn)方式于該被加工物上進行切削。
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