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[發明專利]氣體混合裝置無效

專利信息
申請號: 01101514.4 申請日: 2001-01-12
公開(公告)號: CN1323650A 公開(公告)日: 2001-11-28
發明(設計)人: J·P·漢利 申請(專利權)人: 普萊克斯技術有限公司
主分類號: B01F3/02 分類號: B01F3/02;B01F15/04;G05D11/03
代理公司: 中國專利代理(香港)有限公司 代理人: 王其灝
地址: 美國康*** 國省代碼: 暫無信息
權利要求書: 查看更多 說明書: 查看更多
摘要:
搜索關鍵詞: 氣體 混合 裝置
【權利要求書】:

1.用于準確混合復合氣體(plurality?gases)的簡便的氣體混合裝置,所述裝置包括:

(a)氣體控制板(gas?panel);

(b)用于調整壓差的壓力控制閥;

(c)流量計;和

(d)靜態混合室。

2.權利要求1的裝置,其中所述裝置混合一種少量氣體和一種主氣體。

3.權利要求2的裝置,其中所述主氣體為氮氣和所述少量氣體為空氣。

4.權利要求2的裝置,其中所述主氣體為氮氣和所述少量氣體為氧氣。

5.權利要求2的裝置,其中所述裝置混合所述主氣體和所述少量氣體以得到在氮氣中大約100ppm至大約10,000ppm的氧氣的氣體混合物。

6.權利要求2的裝置,其中所述控制閥調整所述壓差至大約±5英寸水柱。

7.權利要求1的裝置,其中所述裝置與回流烘箱(reflow?oven)形成一整體。

8.權利要求1的裝置,其中所述靜態混合室包括固定的管線內擋板。

9.權利要求1的裝置,其中所述流量計為轉子流量計。

10.權利要求1的裝置,其中采用緩沖罐和擴散式噴嘴替換所述靜態混合室。

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