[發明專利]階梯狀衍射光柵及光波導元件

無效

• 申請號: 00801600.3
• 申請日: 2000-08-01
• 公開（公告）號: CN1319191A
• 公開（公告）日: 2001-10-24
• 發明（設計）人: 中村浩一郎;堀雅宏;山本博章
• 申請（專利權）人: 日本板硝子株式會社
• 主分類號: G02B5/18
• 分類號: G02B5/18;G02B6/12
• 代理公司: 中國國際貿易促進委員會專利商標事務所
• 代理人: 王以平

1．一種階梯狀衍射光柵，由在基板及其表面上形成的1μm～1mm厚的有機聚硅氧烷膜構成，該有機聚硅氧烷膜上形成有多個具有1μm～500μm范圍內的預定寬度和5～500μm范圍內的預定高度的階梯，上述有機聚硅氧烷膜以下述化學式(1)表示的二甲基硅氧烷和下述化學式(2)表示的苯基硅氧烷為主要成分，

(CH₃)₂SiO_2/2????…(1)

PhSiO_3/2???????????…(2)其中P是苯基或取代苯基。

2．如權利要求1所述的階梯狀衍射光柵，其中：上述有機聚硅氧烷膜含有的所述二甲基硅氧烷基和所述苯基硅氧烷類的比例為1摩爾二甲基硅氧烷對0.3～9摩爾的苯基硅氧烷。

3．如權利要求1或2所述的階梯狀衍射光柵，其中：上述階梯的面是沿上述有機聚硅氧烷膜的主表面形成的。

4．如權利要求1或2所述的階梯狀衍射光柵，其中：上述階梯的面是沿與上述有機聚硅氧烷膜的主表面垂直的方向形成的。

5．如權利要求1～4中任一項所述的階梯狀衍射光柵，其中：上述階梯的高度適合使波長1.55μm和波長1.3μm中的任一個選擇反射，或同時使這兩種波長的光都選擇反射。

6．一種光波導元件，該光波導元件在基板表面上設置具有1～30μm的高度和寬度、和沿上述基板表面延伸的長度的用來傳輸光的芯部，以及圍繞上述芯部或夾在上述芯部和基板之間的包層部分，上述芯部和包層部分的至少一個包含以由下述化學式(1)表示的二甲基硅氧烷和下述式(2)表示的苯基硅氧烷為主要成分的有機聚硅氧烷：

(CH₃)₂SiO_2/2????…(1)

PhSiO_3/2?????????????…(2)其中Ph是苯基或取代苯基。

7．如權利要求6所述的光波導元件，其中：上述有機聚硅氧烷膜的芯部和包層部分中的一個以由上述化學式(1)表示的二甲基硅氧烷和上述化學式(2)表示的苯基硅氧烷為主要成分。

8．如權利要求6所述的光波導元件，其中：上述有機聚硅氧烷膜的芯部和包層部分中的任何一個含有的所述二甲基硅氧烷類和所述苯基硅氧烷類的比例為1摩爾二甲基硅氧烷對0.3～9摩爾的苯基硅氧烷。

9．如權利要求8所述的光波導元件，其中：上述芯部和上述包層部分包含二甲基硅氧烷和苯基硅氧烷，關于相對于1摩爾二甲基硅氧烷的苯基硅氧烷摩爾數，上述芯部比上述包層部分至少多0.5摩爾。

10．如權利要求6～9中任一項所述的光波導元件，其中：上述芯部的折射率比上述包層部分的折射率大0.002～0.10。

11．一種光波導元件，該光波導元件在基板表面上設置具有1～30μm的高度和寬度、和沿上述基板表面延伸的長度的用來傳輸光的芯部，上述芯部以由下述化學式(1)表示的二甲基硅氧烷和下述式(2)表示的苯基硅氧烷為主要成分，且上述基板的折射率比上述芯部大，

(CH₃)₂SiO_2/2????…(1)

PhSiO_3/2???????????…(2)其中Ph是苯基或取代苯基。