[發(fā)明專利]化學(xué)機(jī)械研磨異常探測裝置

無效

• 申請?zhí)枺?/td>: 00128962.4
• 申請日: 2000-09-22
• 公開（公告）號: CN1345084A
• 公開（公告）日: 2002-04-17
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 賴建興;施惠紳;曾榮楠;林煌益
• 申請（專利權(quán)）人: 聯(lián)華電子股份有限公司
• 主分類號: H01L21/66
• 分類號: H01L21/66
• 代理公司: 北京市柳沈律師事務(wù)所
• 代理人: 王志森

1.一種化學(xué)機(jī)械研磨異常探測裝置，包括：

一電動(dòng)機(jī)，用以產(chǎn)生化學(xué)機(jī)械研磨的動(dòng)力；

一逆變器，連接至該電動(dòng)機(jī)，將一直流電源轉(zhuǎn)換為一交流電源，并將該交流電源供應(yīng)給該電動(dòng)機(jī)；

一控制電路，連接至該逆變器，控制該逆變器所輸出的該交流電流的大小及工作與否；

一傳感器，連接至該電動(dòng)機(jī)與該控制電路之間，將該電動(dòng)機(jī)的轉(zhuǎn)速轉(zhuǎn)換為一轉(zhuǎn)速信號，并輸出該轉(zhuǎn)速信號至該控制電路；以及

一探測器，連接至該控制電路，探測該逆變器輸出至該電動(dòng)機(jī)的該交流電流的大小，以輸出一停機(jī)信號至該控制電路。

2.如權(quán)利要求1所述的化學(xué)機(jī)械研磨異常探測裝置，其中該電動(dòng)機(jī)是一三相交流感應(yīng)電動(dòng)機(jī)。

3.如權(quán)利要求1所述的化學(xué)機(jī)械研磨異常探測裝置，其中該逆變器是將該直流電源轉(zhuǎn)換為三相交流電源。

4.如權(quán)利要求1所述的化學(xué)機(jī)械研磨異常探測裝置，其中該傳感器是轉(zhuǎn)速傳感器。

5.如權(quán)利要求1所述的化學(xué)機(jī)械研磨異常探測裝置，其中該探測器包括一電流探測器、一中繼控制器與一機(jī)械研磨控制器。

6.一種化學(xué)機(jī)械研磨異常探測裝置，包括：

一電動(dòng)機(jī)，用以產(chǎn)生化學(xué)機(jī)械研磨的動(dòng)力；

一逆變器，連接至該電動(dòng)機(jī)，將直流電源轉(zhuǎn)換為交流電源，并將該交流電源供應(yīng)給該電動(dòng)機(jī)；

一控制電路，連接至該逆變器，控制該逆變器所輸出的該交流電流的大小及工作與否；

一轉(zhuǎn)速傳感器，連接至該電動(dòng)機(jī)與該控制電路之間，將該電動(dòng)機(jī)的轉(zhuǎn)速轉(zhuǎn)換為一轉(zhuǎn)速信號，并輸出該轉(zhuǎn)速信號至該控制電路；

一電流探測器，檢測該電動(dòng)機(jī)的該交流電流的大小，以輸出一電流信號；

一中繼控制器，連接至該電流互感器，接收該電流互感器的該電流信號，以輸出一驅(qū)動(dòng)信號；以及

一機(jī)械研磨控制器，連接至該中繼控制器與該控制電路之間，接收該中繼控制器的驅(qū)動(dòng)信號，以輸出一停機(jī)信號至該控制電路。

7.如權(quán)利要求6所述的化學(xué)機(jī)械研磨異常探測裝置，其中該電動(dòng)機(jī)是三相交流感應(yīng)電動(dòng)機(jī)。

8.如權(quán)利要求6所述的化學(xué)機(jī)械研磨異常探測裝置，其中該逆變器是將該直流電源轉(zhuǎn)換為三相交流電源。

9.如權(quán)利要求6所述的化學(xué)機(jī)械研磨異常探測裝置，其中該電流探測器是電流互感器。