[發明專利]電容壓力傳感器

有效

• 申請號: 00128193.3
• 申請日: 2000-09-30
• 公開（公告）號: CN1297144A
• 公開（公告）日: 2001-05-30
• 發明（設計）人: 石倉義之;木村重夫;增田譽;添田將;片岡俊之
• 申請（專利權）人: 株式會社山武
• 主分類號: G01L9/12
• 分類號: G01L9/12
• 代理公司: 中國國際貿易促進委員會專利商標事務所
• 代理人: 王以平

1．一種電容壓力傳感器，其特征在于包括：

-第一基礎件(2)，其具有第一主凹槽(2a)和與第一主凹槽連通的第一副凹槽(2b)；

-第二基礎件(3)，其具有和所說第一主凹槽一起構成一電容腔的第二主凹槽(3a)，和與所說第二主凹槽連通的第二副凹槽(3b)，所說第二主凹槽具有構成一膜片的底表面；

-固定電極(5)，形成在所說第一主凹槽的底表面上；

-第一墊板(6)，在所說第一副凹槽的底表面上形成，并且通過第一內部連接(5a)與所說固定電極連接；

-可動電極(7)，在所說第二主凹槽的底表面上形成，從而與所說固定電極相對；

-第二墊板(8)，在所說第二副凹槽中形成，并且通過第二內部連接(7a)與所說可動電極連接；和

多個抽提電極(4)，其與所說第一和第二墊板連接并且穿過在所說第一基礎件中形成的通孔(10)向外抽出；

其中所說第一和第二基礎件相互粘接在一起，以利用所說第二和第一基礎件的粘接表面覆蓋所說第一和第二副凹槽。

2．根據權利要求1所述的傳感器，其中所說抽提電極由熔化焊料制成，用熔化焊料填滿所說通孔并且將其冷卻和固化以粘附在所說第一和第二墊板上。

3．根據權利要求2所述的傳感器，還包括在所說第一和第二副凹槽中的焊料流出阻擋壁(2c)，以構成焊料流出到所說第一、第二副凹槽和其內壁之間部分的旁路。

4．根據權利要求3所述的傳感器，其中以基本上類似于環的形狀在所說第一和第二墊板周圍布置所說流出阻擋壁，并且流出阻擋壁具有形成所說第一和第二內部連接同所說第一和第二墊板連接通道的凹口，和

以基本上類似于環形狀布置所說第一和第二內部連接，以使其進一步圍繞所說流出阻擋壁。

5．根據權利要求4所述的傳感器，其中在不同于所說第一和第二內部連接向固定和可動電極延伸方向的方向上形成所說流出阻擋壁的所說凹口。

6．根據權利要求5所述的傳感器，其中在與所說第一和第二內部連接向固定和可動電極延伸方向大約成180°的方向上，形成所說流出阻擋壁的所說凹口。

7．根據權利要求5所述的傳感器，其中在與所說第一和第二內部連接向固定和可動電極延伸方向成0°到180°的方向上，形成所說流出阻擋壁的所說凹口，和

經由與所說流出阻擋壁的所說凹口所形成的角度相對側邊上的弧，將所說第一和第二內部連接與所說固定和可動電極連接。

8．根據權利要求5所述的傳感器，其中形成C形的所說流出阻擋壁。

9．根據權利要求5所述的傳感器，其中形成問號形狀的所說流出阻擋壁，并且將每一個所說凹口的一端與所說第一和第二副凹槽的所說內壁的相應一個連接。

10．根據權利要求2所述的傳感器，還包括焊料流出阻擋件(10、11)，用于阻止在所說第一主凹槽和所說第一副凹槽的連通部分、以及所說第二主凹槽和所說第二副凹槽的連通部分上流出熔化焊料。

11．根據權利要求10所述的傳感器，其中所說焊料流出阻擋件，斷開在所說第一和第二接線上流出的熔化焊料從所說第一和第二副凹槽到所說第一和第二主凹槽的流出通道。

12．根據權利要求10所述的傳感器，其中所說焊料流出阻擋件，由焊料潤滑性比第一和第二內部連接的焊料潤滑性差的材料構成。