[發(fā)明專利]透光的電磁波濾波器及其制造工藝方法

無效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 00104598.9
• 申請(qǐng)日: 2000-03-31
• 公開（公告）號(hào): CN1269699A
• 公開（公告）日: 2000-10-11
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 安崎利明;荻野悅男
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 日本板硝子株式會(huì)社
• 主分類號(hào): H05K9/00
• 分類號(hào): H05K9/00;G12B17/02;H01J29/88;B32B9/00;B32B17/06
• 代理公司: 柳沈知識(shí)產(chǎn)權(quán)律師事務(wù)所
• 代理人: 黃敏

本發(fā)明涉及電磁波濾波器及其制造方法，其中該濾波器設(shè)置在陰極射線管(CRT)或顯示器例如場(chǎng)致發(fā)射顯示器(FED)或等離子體顯示板的前面，阻斷從顯示器發(fā)射的電磁波等。

由于本發(fā)明的電磁波濾波器透光和導(dǎo)電，所以它也可以用作透明導(dǎo)電膜。此外，它在包括近紅外線區(qū)域以及更長(zhǎng)波長(zhǎng)的寬波長(zhǎng)范圍內(nèi)具有電磁波屏蔽性能，因此可用作建筑物或汽車絕熱窗玻璃。

包括透明襯底例如涂敷電磁波屏蔽膜的玻璃板的普通透明電磁波濾波器包括透明襯底，在該襯底上交替地形成例如透明金屬氧化物層等的介質(zhì)層和銀層。

JP-A-5-42624披露了其上涂敷有電磁波屏蔽膜的玻璃板，該屏蔽膜具有夾在一對(duì)疊置的介質(zhì)層之間的銀層，如實(shí)例2所示，電磁波屏蔽膜有(襯底)/ZnO/SnO₂/ZnO/SnO₂/ZnO/Ag/ZnO/SnO₂/ZnO/SnO₂/ZnO(n＝1)的疊層結(jié)構(gòu)。在該實(shí)例中，利用以ZnO和SnO₂為相應(yīng)靶和包括氬和氧的反應(yīng)氣體的氧反應(yīng)濺射，形成金屬氧化物層ZnO和SnO₂。

JP-A-9-85893提出一種涂有紅外線屏蔽膜的玻璃板，其中該屏蔽膜具有介質(zhì)層和銀層相互交替疊置的疊層結(jié)構(gòu)。例如，實(shí)例11表示具有(玻璃)/含Al的ZnO/含Pd的Ag/含Al的ZnO/含Pd的Ag/含Al的ZnO(使用兩個(gè)銀層；n＝2)的五層疊層結(jié)構(gòu)的紅外線屏蔽膜，而實(shí)例13說明疊層結(jié)構(gòu)，其中，最外面的介質(zhì)層為疊置的含Al的ZnO層和含Si的SnO₂層。利用以組成金屬氧化物層的相應(yīng)金屬為靶和氧或的氧/氬混合氣體的氧反應(yīng)濺射，按表1所示，形成這些介質(zhì)層的各層。

JP-A-8-104547教導(dǎo)了包括其上形成有紅外線屏蔽膜的玻璃板的絕熱玻璃。紅外線屏蔽膜疊層是如表1和表6所示的銀層和金屬氧化物層的疊層。例如，實(shí)例13表示(玻璃)/ZnO∶Al₂O₃/Ag/ZnO∶Al₂O₃/Ag/ZnO∶Al₂O₃(使用兩個(gè)銀層；n＝2)的五層疊層結(jié)構(gòu)。利用以包含2wt％Al₂O₃的ZnO燒結(jié)體為靶進(jìn)行濺射，形成ZnO∶Al₂O₃層。

通過在放電單元中強(qiáng)大的等離子體放電，可以實(shí)現(xiàn)等離子體顯示板的高亮度圖象顯示。因此，等離子體顯示板從放電單元向板的前方發(fā)射近紅外線和電磁波。已經(jīng)指出，電磁波有對(duì)人體產(chǎn)生不良影響的可能性。此外，發(fā)射的紅外線由等離子體顯示器附近裝配的遙控接收器來檢測(cè)，因而可能造成接通開關(guān)的錯(cuò)誤動(dòng)作。

為了克服以上問題，建議在等離子體顯示板的前面形成具有電磁波屏蔽性能的透明材料。為了這一目的，已經(jīng)進(jìn)行了這樣的實(shí)踐，將包括其一側(cè)上帶有介質(zhì)層和銀層的交替疊層的玻璃板的電磁波濾波器附著于等離子體顯示器的前面。要求這種電磁波濾波器滿足以下性能要求。

(1)抗電磁波的屏蔽效果(即電磁波屏蔽膜的低薄膜電阻)；

(2)近紅外線區(qū)域(從800至900nm區(qū)域)的熱射線的低發(fā)射，該發(fā)射用于裝置的遙控；

(3)良好的可見光發(fā)射，以確保明亮的圖象顯示；

(4)抗?jié)駸岬鹊某浞帜陀眯裕员┞对诳諝庵惺褂茫缓?/p>

(5)沒有針眼(pin?holes)或被異物污染。

致力于解決所有的突出問題，本發(fā)明的構(gòu)思在于，通過設(shè)計(jì)介質(zhì)層和銀層的疊層結(jié)構(gòu)，使其具有所謂光學(xué)低通濾波器特性即具有高可見光發(fā)射和近紅外線的低發(fā)射特性，在兩個(gè)區(qū)域的邊界上的發(fā)射顯示急劇的變化，來滿足要求(1)至(4)。該構(gòu)思還通過設(shè)計(jì)新穎的層作為疊層的介質(zhì)層來滿足要求(5)。

如上所述，在上述JP-A-5-42624中披露的電磁波屏蔽膜有夾在介質(zhì)層疊層之間的一個(gè)銀層。確保電磁波屏蔽性能的銀層應(yīng)該有增加的厚度，以展示令人滿意的性能，但這樣一來會(huì)導(dǎo)致可見光發(fā)射損失。因此，不能同時(shí)滿足要求(1)、(2)和(3)。此外，由于組成介質(zhì)層的ZnO層和SnO₂層是電絕緣的，所以在形成這些層中難以按穩(wěn)定的方式獲得輝光放電等離子體，只能產(chǎn)生受到針眼或異物粘結(jié)損害的膜。