[發明專利]基于來自光學檢驗及光學重檢的缺陷屬性的用于電子束重檢的缺陷取樣有效
| 申請號： | 201580026552.2 | 申請日： | 2015-05-15 |
| 公開（公告）號： | CN106461581B | 公開（公告）日： | 2018-08-31 |
| 發明（設計）人： | R·戈莎尹;S·喬希 | 申請（專利權）人： | 科磊股份有限公司 |
| 主分類號： | G01N23/2251 | 分類號： | G01N23/2251;G01N21/95;H01L21/66 |
| 代理公司： | 北京律盟知識產權代理有限責任公司 11287 | 代理人： | 張世俊 |
| 地址： | 美國加利*** | 國省代碼： | 美國;US |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 基于 來自 光學 檢驗 缺陷 屬性 用于 電子束 取樣 | ||
【說明書】：
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