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主分類
A 農(nóng)業(yè)
B 作業(yè);運輸
C 化學;冶金
D 紡織;造紙
E 固定建筑物
F 機械工程、照明、加熱
G 物理
H 電學
分類號 描述
H 電學
H01 基本電氣元件
H01L 半導體器件;其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導體或固體器件或其部件的方法或設備
H01L21-02 .半導體器件或其部件的制造或處理
H01L21-04 ..至少具有一個躍變勢壘或表面勢壘的器件,例如PN結、耗盡層、載體集結層
H01L21-34 ...具有H01L 21/06,H01L 21/16及H01L 21/18各組不包含的或有或無雜質,例如摻雜材料的半導體的器件
H01L21-46 ....用H01L 21/36至H01L 21/428各組不包含的方法或設備處理半導體材料的
H01L21-461 .....改變半導體材料的表面物理特性或形狀的,例如腐蝕、拋光、切割
H01L21-469 ......在半導體材料上形成絕緣層的,例如,用于掩膜的或應用光刻技術的
H01L21-47 .......有機層,例如光刻膠
H01L21-471 ....... 無機層
H01L21-475 ....... 應用掩膜的
H01L21-4757 .......后處理

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