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F 機械工程、照明、加熱
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H 電學
分類號 描述
H 電學
H01 基本電氣元件
H01L 半導體器件;其他類目中不包括的電固體器件
H01L21-00 專門適用于制造或處理半導體或固體器件或其部件的方法或設備
H01L21-02 .半導體器件或其部件的制造或處理
H01L21-04 ..至少具有一個躍變勢壘或表面勢壘的器件,例如PN結、耗盡層、載體集結層
H01L21-18 ...器件有由周期表第Ⅳ族元素或含有/不含有雜質的AⅢBⅤ族化合物構成的半導體,如摻雜材料
H01L21-30 ....用H01L 21/20至H01L 21/26各組不包含的方法或設備處理半導體材料的
H01L21-31 .....在半導體材料上形成絕緣層的,例如用于掩膜的或應用光刻技術的
H01L21-3105 ......后處理
H01L21-312 ......有機層,例如光刻膠
H01L21-314 ......無機層
H01L21-32 ......應用掩膜的
H01L21-3205 ......非絕緣層的沉積,例如絕緣層上的導電層或電阻層;這些層的后處理

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