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主分類

A 農(nóng)業(yè)

B 作業(yè)；運輸

C 化學；冶金

D 紡織；造紙

E 固定建筑物

F 機械工程、照明、加熱

分類號	描述

H	電學

H01	基本電氣元件		查看

H01L	半導(dǎo)體器件；其他類目中不包括的電固體器件		查看

H01L21-00	專門適用于制造或處理半導(dǎo)體或固體器件或其部件的方法或設(shè)備		查看

H01L21-02	.半導(dǎo)體器件或其部件的制造或處理		查看

H01L21-04	..至少具有一個躍變勢壘或表面勢壘的器件，例如PN結(jié)、耗盡層、載體集結(jié)層		查看

H01L21-18	...器件有由周期表第Ⅳ族元素或含有/不含有雜質(zhì)的AⅢBⅤ族化合物構(gòu)成的半導(dǎo)體，如摻雜材料		查看

H01L21-30	....用H01L 21/20至H01L 21/26各組不包含的方法或設(shè)備處理半導(dǎo)體材料的		查看

H01L21-302	.....改變半導(dǎo)體材料的表面物理特性或形狀的，例如腐蝕、拋光、切割		查看

H01L21-306	......化學或電處理，例如電解腐蝕		查看

	H01L21-3063	.......電解腐蝕	查看

	H01L21-3065	.......等離子腐蝕；活性離子腐蝕	查看

	H01L21-308	....... 應(yīng)用掩膜的	查看

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