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主分類

                        
A 農業

                        
B 作業；運輸

                        
C 化學；冶金

                        
D 紡織；造紙

                        
E 固定建筑物

                        
F 機械工程、照明、加熱

                        
G 物理

                        
H 電學

                        

                    

                		
                
                    

                        

                            分類號
                            描述
                            
                            
                        

                        

                        

C
化學；冶金






C30
晶體生長






C30B
單晶生長






C30B23-00
冷凝氣化物或材料揮發法的單晶生長






C30B23-02
.外延層生長






C30B23-04
..圖案沉積，如使用掩模的






C30B23-06
..沉積室、襯底或欲蒸發材料的加熱






C30B23-08
..電離氣化物的冷凝法



                    

                		
            

        

    







   


      



  

    

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